Продукция компании «INOCO» широко используется во всех звеньях производства полупроводников, стремится обеспечить чистоту производственной среды, чистоту технологических газов и стабильную работу оборудования.
1. Подготовка сверхчистой воды
Производство полупроводников требует сверхчистой воды (UPW) для очистки кремниевых пластин и приготовления химических растворов.
Фильтры сверхчистой воды компании «INOCO» могут эффективно удалять твёрдые частицы, ионы и органические вещества из воды, чтобы обеспечить качество воды полупроводникового класса в соответствии со стандартами.
2. Очистка технологического газа
Технологические газы (такие как азот, аргон, водород и т. Д.), используемые в производстве полупроводников, требуют чрезвычайно высокой чистоты. Газовые фильтры компании «INOCO» могут удалять твёрдые частицы, влагу и масляные грязи из газа, чтобы обеспечить соответствие чистоты газа полупроводниковым технологическим требованиям, подходить для CVD, травления, фотолитографии и других процессов.
3. Фильтрация химического раствора
В процессе очистки и травления кремниевых пластин чистота химического раствора напрямую влияет на качество продукта. Фильтры химического раствора компании «INOCO» могут удалять твёрдые частицы и коллоиды из раствора, чтобы обеспечить стабильность процесса и выход небракованных продукций.
4. Фильтрация полировочной жидкости GMP
Химическая механическая полировка (GMP) является одним из ключевых процессов производства полупроводников.
Фильтры полировальной жидкости GMP компании «INOCO» могут эффективно удалять твёрдые частицы из полировальной жидкости, предотвращать царапины на поверхности кремниевых пластин и улучшать качество полировки.
5. Очистка выхлопных газов
Выхлопные газы, образующиеся в процессе производства полупроводников, содержат кислотные, щелочные или органические загрязнители. Фильтры выхлопных газов компании «INOCO» могут высокоэффективно удалять вредные вещества, чтобы обеспечить соответствие уровня выбросов требованиям экологического стандарта.
